Unsere Geräte eignen sich für die Messung von VE-Wasser, Reinigungschemikalien, Lösungsmitteln, Säuren, Tensiden sowie abrasiven Medien, wie sie etwa beim chemisch-mechanischen Planarisieren (CMP) eingesetzt werden. Die Vielseitigkeit der Sensorik ermöglicht eine einheitliche Messtechnik über verschiedene Prozessschritte hinweg.
Clamp-on-Durchflussmessung für hochreine und aggressive Medien
In der Halbleiter- und Mikrochipfertigung ist die präzise Kontrolle von Flüssigkeitsströmen ein zentraler Faktor für Prozessstabilität, Ausbeute und Qualität. Gleichzeitig kommen Medien zum Einsatz, die entweder hochrein oder stark ätzend sind und damit besondere Anforderungen an die Messtechnik stellen.
Ihre Vorteile mit Katronic-Ultraschalldurchflussmessern in der Halbleiterindustrie
Katronics Clamp-on-Durchflussmesser ermöglichen eine sichere, nichtinvasive Messung, selbst bei Medien mit geringer Leitfähigkeit oder hohem Gefährdungspotenzial. Durch das berührungslose Messprinzip wird eine Kontamination hochreiner Medien zuverlässig vermieden, während gleichzeitig der Umgang mit aggressiven Chemikalien sicherer gestaltet wird. Zudem lassen sich die Systeme ohne Eingriff in bestehende Prozessleitungen integrieren, wodurch Stillstandszeiten vermieden und stabile Fertigungsprozesse unterstützt werden.
Zuverlässige Messung unterschiedlichster Prozessmedien
Maximale Sicherheit für Personal und Anlagen
Invasive Messsysteme stellen bei hochkonzentrierten Säuren oder toxischen Medien ein erhebliches Risiko dar. Die Clamp-on-Technologie von Katronic hält das Medium vollständig eingeschlossen, da die Sensoren an der Rohraußenseite angeklemmt werden. Dadurch werden Leckagerisiken minimiert, der Kontakt des Personals mit Gefahrstoffen vermieden und die Anlagenintegrität langfristig gesichert.
Reduzierung von Chemikalienverbrauch und Ausschuss
Durch die kontinuierliche Überwachung von Spül- und Reinigungsprozessen lassen sich Chemikalienmengen präzise steuern. Dies verlängert die Standzeiten von Bädern, reduziert Ausschuss und senkt den Gesamtverbrauch an Prozessmedien. Zusätzlich können überschüssige Spülmengen erkannt und das Abwassersystem gezielt entlastet werden.
Vertrauensvolle Partnerschaften in der Halbleiterherstellung
Zahlreiche Unternehmen der Halbleiterherstellung vertrauen auf unsere Lösungen – von innovativen Projekten bis zu bewährter Zusammenarbeit in der Praxis.
Unsere Kunden in der Halbleiterherstellung
- Intel
- STMicroelectronics
- Seagate