Наши приборы подходят для измерения деионизированной воды, чистящих химикатов, растворителей, кислот, поверхностно-активных веществ, а также абразивных сред, которые, например, используются при химико-механической планарной обработке (CMP). Универсальность датчиков позволяет применять единую технологию измерения на всех этапах технологического процесса.
Измерение расхода с помощью зажимных датчиков для высокочистых и агрессивных сред
В производстве полупроводников и микрочипов точный контроль потоков жидкостей является ключевым фактором, определяющим стабильность технологического процесса, выход готовой продукции и качество. При этом используются среды, которые либо обладают высокой степенью чистоты, либо являются сильно едкими, что предъявляет особые требования к измерительной технике.
Преимущества использования ультразвуковых расходомеров Katronic в полупроводниковой промышленности
Расходомеры Katronics с зажимным креплением обеспечивают безопасное неинвазивное измерение даже в случае сред с низкой проводимостью или высокой степенью опасности. Бесконтактный принцип измерения надежно предотвращает загрязнение высокочистых сред и одновременно повышает безопасность работы с агрессивными химическими веществами. Кроме того, системы можно интегрировать в существующие технологические линии без вмешательства в их конструкцию, что позволяет избежать простоев и обеспечить стабильность производственных процессов.
Надежное измерение самых разнообразных технологических сред
Максимальная безопасность персонала и оборудования
Инвазивные измерительные системы представляют значительную опасность при работе с высококонцентрированными кислотами или токсичными средами. Технология Clamp-on от Katronic полностью изолирует среду, поскольку датчики закрепляются на внешней поверхности трубы. Это позволяет свести к минимуму риск утечек, предотвратить контакт персонала с опасными веществами и обеспечить долгосрочную целостность оборудования.
Сокращение потребления химикатов и объема брака
Благодаря непрерывному мониторингу процессов промывки и очистки можно точно регулировать количество используемых химикатов. Это продлевает срок службы ванн, сокращает количество брака и снижает общее потребление технологических сред. Кроме того, можно выявлять избыточные объёмы промывки и целенаправленно снижать нагрузку на канализационную систему.
Доверительные партнерские отношения в сфере производства полупроводников
Многие компании, занимающиеся производством полупроводников, доверяют нашим решениям — от инновационных проектов до проверенного на практике сотрудничества.
Unsere Kunden in der Halbleiterherstellung
- Intel
- STMicroelectronics
- Seagate