Nos appareils sont adaptés à la mesure de l'eau déminéralisée, des produits chimiques de nettoyage, des solvants, des acides, des tensioactifs ainsi que des fluides abrasifs, tels que ceux utilisés notamment dans le polissage chimico-mécanique (CMP). La polyvalence des capteurs permet d'appliquer une technique de mesure uniforme tout au long des différentes étapes du processus.
Débitmétrie de type « clamp-on » pour les fluides ultra-purs et agressifs
Dans la fabrication de semi-conducteurs et de micropuces, le contrôle précis des débits de fluides est un facteur essentiel pour la stabilité des processus, le rendement et la qualité. Parallèlement, on utilise des fluides qui sont soit d'une grande pureté, soit fortement corrosifs, ce qui impose des exigences particulières aux techniques de mesure.
Les avantages des débitmètres à ultrasons Katronic dans l'industrie des semi-conducteurs
Les débitmètres « clamp-on » de Katronics permettent une mesure sûre et non invasive, même avec des fluides à faible conductivité ou présentant un risque élevé. Grâce au principe de mesure sans contact, la contamination des fluides de haute pureté est évitée de manière fiable, tout en rendant la manipulation de produits chimiques agressifs plus sûre. De plus, ces systèmes s’intègrent sans intervention dans les conduites de process existantes, ce qui permet d’éviter les temps d’arrêt et de garantir la stabilité des processus de fabrication.
Mesure fiable d'une grande variété de fluides de process
Une sécurité maximale pour le personnel et les installations
Les systèmes de mesure invasifs présentent un risque considérable en présence d'acides hautement concentrés ou de fluides toxiques. La technologie « clamp-on » de Katronic permet de maintenir le fluide entièrement confiné, car les capteurs sont fixés à l'extérieur du tuyau. Cela permet de minimiser les risques de fuite, d'éviter tout contact du personnel avec des substances dangereuses et de garantir l'intégrité de l'installation à long terme.
Réduction de la consommation de produits chimiques et des rebuts
La surveillance continue des processus de rinçage et de nettoyage permet de contrôler avec précision les quantités de produits chimiques. Cela prolonge la durée de vie des bains, réduit les rebuts et diminue la consommation totale de produits utilisés dans les processus. De plus, les volumes de rinçage excédentaires peuvent être détectés, ce qui permet de soulager de manière ciblée le réseau d'assainissement.
Des partenariats de confiance dans la fabrication de semi-conducteurs
De nombreuses entreprises du secteur de la fabrication de semi-conducteurs font confiance à nos solutions, qu'il s'agisse de projets innovants ou de collaborations éprouvées sur le terrain.
Unsere Kunden in der Halbleiterherstellung
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