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Medición de caudal con sonda de sujeción para fluidos de alta pureza y corrosivos

En la fabricación de semiconductores y microchips, el control preciso de los flujos de líquidos es un factor clave para la estabilidad del proceso, el rendimiento y la calidad. Al mismo tiempo, se utilizan medios que son o bien de alta pureza o bien muy corrosivos, lo que plantea requisitos especiales para la tecnología de medición.

Ventajas de los caudalímetros ultrasónicos Katronic en la industria de los semiconductores 

Los caudalímetros de tipo «clamp-on» de Katronics permiten realizar mediciones seguras y no invasivas, incluso con fluidos de baja conductividad o de alto riesgo. Gracias al principio de medición sin contacto, se evita de forma fiable la contaminación de fluidos de alta pureza, al tiempo que se hace más segura la manipulación de productos químicos agresivos. Además, los sistemas pueden integrarse sin necesidad de intervenir en las tuberías de proceso existentes, lo que evita los tiempos de inactividad y contribuye a la estabilidad de los procesos de fabricación.

Medición fiable de los más diversos medios de proceso

Nuestros equipos son adecuados para la medición de agua desionizada, productos químicos de limpieza, disolventes, ácidos, tensioactivos y medios abrasivos, como los que se utilizan, por ejemplo, en el proceso de planarización químico-mecánica (CMP). La versatilidad de los sensores permite aplicar una técnica de medición uniforme a lo largo de las distintas etapas del proceso.

Máxima seguridad para el personal y las instalaciones

Los sistemas de medición invasivos suponen un riesgo considerable cuando se trata de ácidos altamente concentrados o medios tóxicos. La tecnología «clamp-on» de Katronic mantiene el medio completamente encerrado, ya que los sensores se fijan al exterior de la tubería. De este modo, se minimizan los riesgos de fugas, se evita el contacto del personal con sustancias peligrosas y se garantiza la integridad de la instalación a largo plazo.

Reducción del consumo de productos químicos y de los desechos

La supervisión continua de los procesos de enjuague y limpieza permite controlar con precisión las cantidades de productos químicos. Esto prolonga la vida útil de los baños, reduce los desechos y disminuye el consumo total de productos de proceso. Además, se pueden detectar los excesos de agua de enjuague y aliviar de forma selectiva la carga del sistema de aguas residuales.

Aplicaciones en la industria de los semiconductores

Nuestros sistemas «clamp-on» tienen múltiples aplicaciones en este sector; a continuación le presentamos algunos ejemplos típicos.

Mediciones de precipitantes, agentes reductores y agentes sustitutivos

Control de los líquidos en el proceso de planarización químico-mecánica (CMP)

Supervisión de los sistemas de fluoruro de hidrógeno

Mediciones de sistemas de lavado de placas de circuito impreso

Mediciones de agua de alta pureza

Control del vertido de aguas residuales

Alianzas de confianza en la fabricación de semiconductores

Numerosas empresas del sector de la fabricación de semiconductores confían en nuestras soluciones, desde proyectos innovadores hasta colaboraciones consolidadas en la práctica.

Unsere Kunden in der Halbleiterherstellung

  • Intel
  • STMicroelectronics
  • Seagate

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