Clamp-on-Durchflussmesser für die Mikrochip-Herstellung

Durchflussanwendungen sind wesentliche Bestandteile bei der Fertigung von Halbleitern und Elektronikkomponenten. Die bei den einzelnen Herstellungsschritten verwendeten Flüssigkeiten sind entweder ätzend oder hochrein. Da Ultraschalldurchflussmessgeräte von außen befestigt werden, eignen sie sich perfekt für diese speziellen Bedingungen. Im Gegensatz zu anderen Messverfahren stellt die geringe Leitfähigkeit der Medien für Katronic-Messinstrumente kein Problem dar.

Katronic-Durchflussmesser bieten eine Reihe weiterer Vorteile für unsere Kunden der Halbleiterbranche:

VIELSEITIGKEIT

Unsere Ultraschalldurchflussmessgeräte sind in der Lage, Messungen an einer Vielzahl unterschiedlichster Flüssigkeiten der Halbleiterherstellung durchzuführen, angefangen bei abrasiven Flüssigkeiten, die beim chemisch-mechanischen Planasieren (CMP) verwendet werden über Säuren, Lösungsmittel und Tenside bis hin zu VE-Wasser, welches bei Reinigungsverfahren eingesetzt wird.

SICHERHEIT

Viele der in der Halbleiterfertigung eingesetzten Flüssigkeiten sind ätzend und gesundheitsgefährdend. Für invasive Messtechnologien können hochkonzentrierte Säuren zum Entfernen von überschüssigem Kupfer Probleme bei den Messungen und für die Sicherheit allgemein verursachen.

RENTABILITÄT

Durch den Einsatz eines KATflow-Durchflussmessers zur Überwachung und Prüfung der Spülvorgänge wird die Badstandzeit von Lösungsmitteln verlängert, werden Ausschussraten verringert und damit die Kosten gesenkt. Die Clamp-on-Messgeräte können außerdem genutzt werden, um überschüssige Mengen an Spülflüssigkeiten zu kontrollieren um so das Abwassersystem zu entlasten